Ferrotec(中国)300mm半导体晶圆再生项目来袭,年产240万枚

3月29日消息,据中欣晶圆发布,Ferrotec(中国)旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司投资建设年产 240 万枚半导

3月29日消息,据中欣晶圆发布,Ferrotec(中国)旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司投资建设年产 240 万枚半导体晶圆再生项目,项目计划总投资 10 亿元,占地 75 亩,新建厂房 56774.38 平方米。

据悉,该项目购置国内外先进设备数百台套(关键工序采用进口设备及专用设备),建设周期 15 个月,项目建成后将形成年产 240 万枚 300mm 半导体晶圆精密再生的生产线,可达世界先进水平。

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官方介绍,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式会社(日本磁性流体技术控股有限公司)在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于 2019 年在铜陵发起创立。日本 FerroTec 株式会社(日本磁性流体技术控股有限公司)于 1992 年正式进军中国市场。FerroTec(中国)现已成长为集产品研发、制造、销售于一体的多元化企业集团。旗下管理的 20 余家公司与制造基地遍布中国各地,为国内外客户提供具有世界先进水平的材料、器件、装备和系统解决方案。

项目具有国内配备最完善的再生晶圆生产线,也是国内首家专业从事 300mm 大尺寸硅片晶圆再生的专业厂商,填补国内该领域空白。本项目的建设,将促使国内晶圆厂摆脱长期主要依赖进口的窘境,使其在国内即可实现高水平的大尺寸晶圆再生。

采用国际一流的 300mm 晶圆用全自动精密 CMP 研磨机,研磨加工实现全程自动化,厚度损失少;设备内部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤装置,保持高洁净度;另外量测设备采用美国 KLA-Tencor SP5 颗粒检测仪 , 具有 DUV 灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统,加工与量测设备均处于国际行业领先水平。

项目建设过程中,依托 FerroTec(中国)成熟的半导体晶圆技术人才团队为基础,外籍专家团队直接参与设备采购、安装与调试,国内外知名厂商参与设备搬运与二次配工程,每一环节均有高品质掌控。

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